-
קעראַמישע רעזערוו טיילן פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָבע עקוויפּמענט
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
קעראַמיש פּלאַטע האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט טרעגער
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט קעראַמיש ספּער טיילן
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
הויך-ריינקייט אַלומינאַ קעראַמיש סילינג רינג פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור קאַמער סילינג
סט. סעראַ'ס קעראַמישער פאַרזיגלונג רינג איז דיזיינד ווי אַן אָלטערנאַטיוו צו פּאָלימער אָ-רינגס אין עקסטרעמע סביבות וואו עלאַסטאָמערס צעברעכן. פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃), דעם שטרענגן פאַרזיגלונג רינג ווערט גענוצט אין סטאַטישע פאַרזיגלונג אַפּלאַקיישאַנז - טיפּיש געפּאָרט מיט אַ ווייך מעטאַל אָדער גראַפיט גאַסקעט - צו צושטעלן פאַרלאָזלעך וואַקוום אָדער גאַז קאַנטיינמאַנט ביי טעמפּעראַטורן ביז 800°C און אין אַגרעסיוו פּלאַזמע אָדער כעמישע סביבות. דער מאַטעריאַל אָפפערס נול אַוטגאַסינג, הויך קאַמפּרעסיוו שטאַרקייט (אונטערלייגנדיק בייגן שטאַרקייט 361 MPa), און כעמישע ינערטנאַס (קעגנשטעליק צו האַלאָגענס, זויערן און אַלקאַליס אַחוץ HF). פּרעציזיע-געלאַפּט פאַרזיגלונג סערפאַסיז (פלאַטנאַס ≤5 μm, ייבערפלאַך ראַפנאַס Ra ≤0.2 μm) ענשור ליק-טייט קאָנטאַקט מיט פּאַסיק מעטאַל אָדער קעראַמיש קאַמפּאָונאַנץ.
-
הויך-ריינקייט אַלומינאַ קאַמער פאָקוס רינג פֿאַר פּלאַזמע עטש און CVD סיסטעמען
סט. סעראַ'ס קאַמער פאָקוס רינג איז אַ קריטישער פּראָצעס קיט קאָמפּאָנענט געניצט אין פּלאַזמע עטש, CVD, און PVD האַלב-קאָנדוקטאָר ויסריכט. פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃), דער רינג אַרומרינגלט די וועיפער ברעג צו באַגרענעצן פּלאַזמע און אָפּטימיזירן יאָן ווינקל פאַרשפּרייטונג, דערמיט פֿאַרבעסערן עטש יוניפאָרמאַטי אַריבער די וועיפער ייבערפלאַך. דער מאַטעריאַל אָפפערס אויסערגעוויינלעך פּלאַזמע קעגנשטעל, הויך דיעלעקטריק שטאַרקייט (15×10⁶ V/m), און טערמישע פעסטקייט ביז 1600°C, וואָס ענשורז לאַנג-טערמין רילייאַבילאַטי אין אַגרעסיוו פלאָרין- אָדער קלאָרין-באַזירט פּלאַזמע ינווייראַנמאַנץ. פּרעציזשאַן-גראַונד ID/OD און פלאַךקייט (≤10 μm) געבן פּינטלעך וועיפער ברעג פּאַזישאַנינג, רעדוצירן ברעג חסרונות און פּאַרטיקל דזשענעריישאַן.
-
הויך-ריינקייט אַלומינאַ קעראַמיש רינג פֿאַר CVD / PVD פּראָצעס קאַמערן
סט. סעראַ'ס קעראַמישער רינג איז ספּעציעל דיזיינד פֿאַר נוצן אין CVD (כעמישע דאַמפער דעפּאַזישאַן) און PVD (פיזישע דאַמפער דעפּאַזישאַן) פּראָצעס קאַמערן. פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃), דינט דער רינג ווי אַ קאַמער ליינער, פאָקוס רינג, אָדער פּראָצעס קיט קאָמפּאָנענט צו באַגרענעצן פּלאַזמע און באַשיצן קאַמער ווענט פון עראָוזיע. דער מאַטעריאַל אָפפערס ויסגעצייכנט פּלאַזמע קעגנשטעל, הויך דיעלעקטריק שטאַרקייט (15×10⁶ V/m), און טערמישע פעסטקייט ביז 1600°C, וואָס ענשורז אַ לאַנג דינסט לעבן אין אַגרעסיוו פלאָרין-באַזירט פּלאַזמע ינווייראַנמאַנץ. פּינטלעכע דימענשאַנאַל טאָלעראַנסעס (±0.05 מם אויף ID/OD) און פלאַךקייט (≤10 μm) געבן קאָנסיסטענט וועיפער ברעג פּאַזישאַנינג, פֿאַרבעסערן דעפּאַזישאַן יונאַפאָרמאַטי און רעדוצירן פּאַרטיקל דזשענעריישאַן.
-
בערנולי קעראַמיש ענד עפֿעקטאָר — ניט-קאָנטאַקט וועיפֿער האַנדלינג פֿאַר דין און שוואַך וועיפֿערס
סט. סעראַ'ס בערנולי קעראַמישער ענד עפעקטאָר ניצט אַעראָדינאַמישן ליפט צו שעפּן וועיפערס אָן גשמיותן קאָנטאַקט. פאַבריצירט פון הויך-ריינקייט 99.8% אַלומינאַ (Al₂O₃) אָדער סיליקאָן קאַרבייד (SiC), עס פֿעיִקייטן פּרעציזיע-מאַשינד נאַזאַלז וואָס אַרויסוואַרפן דרוק גאַז צו שאַפֿן אַ דין לופט פילם צווישן דעם ענד עפעקטאָר און די וועיפער. דעם ניט-קאָנטאַקט פּרינציפּ עלימינירט הינטערשטן קאַנטאַמאַניישאַן, קאַנט טשיפּינג, און ייבערפלאַך שעדיקן, מאכן עס ידעאַל פֿאַר דין (≤100 μm), שוואַך, אָדער וואָרפּט וועיפערס. די קעראַמישע סאַבסטראַט גיט הויך בייגן שטאַרקייַט (361 MPa פֿאַר Al₂O₃; אַרויף צו 550–600 MPa פֿאַר SiC), נידעריק מאַסע, און ויסגעצייכנט דימענשאַנאַל פעסטקייַט, ינשורינג ריפּיטאַבאַל פּאַזישאַנינג אין הויך-גיכקייַט וועיפער אַריבערפירן ראָבאָץ.
-
הויך-ריינקייט אַלומינאַ קעראַמיק טיילן פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר און אינדוסטריעלע אַפּלאַקיישאַנז
סט. סעראַ פאַבריצירט פּרעציזיע-מאַשינד אַלומינאַ (Al₂O₃) קעראַמישע טיילן לויט קונה ספּעציפֿיקאַציעס. ניצנדיק 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ, צושטעלן די קאָמפּאָנענטן אַן אויסגעצייכנטע בייגונג שטאַרקייט (361 MPa), הויכע כאַרדנאַס (16 GPa), און אַן אויסגעצייכנטע דיעלעקטרישע שטאַרקייט (15×10⁶ V/m). דיזיינד פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר ויסריכט, טראָגן-קעגנשטעליק אַסעמבליז, עלעקטרישע ינסאַלייטערז, און הויך-טעמפּעראַטור פֿיקסטשורז, אָפפערט דער מאַטעריאַל כּמעט-נול וואַסער אַבזאָרפּשאַן (0%) און אַ טערמישע יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט פון 7.2×10⁻⁶/℃, וואָס ענשורז דימענשאַנאַל פעסטקייט אונטער עקסטרעמע באדינגונגען.
-
פּאָרעז קעראַמיש וואַקוום טשאַק פֿאַר וואָרפּט וואַפער האַנדלינג
סט. סעראַ'ס פּאָרעז קעראַמיש טשאַק איז אינזשענירט פֿון הויך-ריינקייט אַלומינאַ מיט אַ מונדיר אָפֿענער פּאָראָזיטעט פֿון 30-45% און פּאָרע גרייסן פֿון 10 ביז 100 מיקראָמעטער. ניט ווי קאַנווענשאַנעלע גרוווד טשאַקס, די פּאָרעז ייבערפלאַך גיט פֿאַרשפּרייט וואַקוום איבער די גאַנצע וועיפֿער הינטערשטע זײַט, עפֿעקטיוו האַלטנדיק פֿאַרדרייטע, דין אָדער איינציקאַרטיקע וועיפֿערס אָן ברעג ליפט-אָף אָדער ברייקידזש. דער מילדער וואַקוום (אַדזשאַסטאַבאַל דורך ריסטריקטאָר) פֿאַרהיט אויך הינטערשטע זײַט מאַרקינג.
-
אַלומינאַ-באַזירט פּאָרעז קעראַמיש וואַקוום טשאַק פֿאַר דין וועיפער האַנדלינג
סט. סעראַ'ס אַלומינאַ-באַזירט פּאָרעז טשאַק איז פאַבריצירט פון 99.6% הויך-ריינקייט Al₂O₃ מיט קאָנטראָלירט אָפן פּאָראָסיטי פון 30-45% און מונדיר פּאָרע גרייס ריינדזשינג פון 10 צו 50 μm. ניט ווי גרובעד טשאַקס, די פּאָרעז ייבערפלאַך גיט פאַרשפּרייט וואַקוום איבער די גאנצע וועיפער צוריקזייַט, ילימאַנייטינג קאַנט מאַרקינג און ינייבלינג מילד האַלטן פון גאָר-דין (≤100 μm) אָדער וואָרפּט וועיפערז. די מאַטעריאַל אָפפערס בייגן שטאַרקייַט ≥250 MPa און טערמישע פעסטקייַט אַרויף צו 400°C אין לופט.
-
אַלומינאַ גאַז פאַרשפּרייטונג פּלאַטע פֿאַר CVD/PVD שפּריץ קאָפּ
סט. סעראַ'ס גאַז פאַרשפּרייטונג פּלאַטע (שפּריץ קאָפּ) איז פּרעציזיע-מאַשינד פֿון הויך-ריינקייט 99.8% אַלומינאַ קעראַמיק. עס פֿעיִטשערט אַן אַרעי פֿון מיקראָ-לעכער (דיאַמעטערס 0.3-1.5 מם) וואָס ענשור אַ גלייכמעסיקן גאַז פֿלוס איבער די וועיפֿער ייבערפלאַך בעת CVD, PVD, אָדער ALD פּראָצעסן. די פּלאַטע'ס הויך דיעלעקטרישע שטאַרקייט (>15×10⁶ V/m) און פּלאַזמע קעגנשטעל מאַכן עס וויכטיק פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר דין-פֿילם דעפּאָזיציע.
-
קעראַמיש שטיצע שטיפט פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעס פיקסטשערז
סט. סעראַ'ס קעראַמישע שטיצנדיקע שפּילקעס (אויך באַקאַנט ווי ליפט שפּילקעס אדער שטיצנדיקע שפּילקעס) ווערן גענוצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעס קאַמערן צו הייבן וועיפערס אדער סאַבסטראַטן בעת האַנדלינג, הייצונג, אדער קילן. פאַבריצירט פון 99.8% אַלומינאַ אדער סיליקאָן ניטריד, די שפּילקעס פאָרשלאָגן הויך קאַמפּרעסיוו שטאַרקייט, טערמישע פעסטקייט, און כעמישער קעגנשטעל. די העמיספעריקאַל אדער פלאַך שפּיץ פּלאַן פאַרהיט וועיפערס קראַצן.
