קעראַמיש שטיצע שטיפט פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעס פיקסטשערז
סט. סעראַ'ס קעראַמישע שטיצנדיקע שפּילקעס (אויך באַקאַנט ווי ליפט שפּילקעס אדער שטיצנדיקע שפּילקעס) ווערן גענוצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעס קאַמערן צו הייבן וועיפערס אדער סאַבסטראַטן בעת האַנדלינג, הייצונג, אדער קילן. פאַבריצירט פון 99.8% אַלומינאַ אדער סיליקאָן ניטריד, די שפּילקעס פאָרשלאָגן הויך קאַמפּרעסיוו שטאַרקייט, טערמישע פעסטקייט, און כעמישער קעגנשטעל. די העמיספעריקאַל אדער פלאַך שפּיץ פּלאַן פאַרהיט וועיפערס קראַצן.
ספּעציפֿיקאַציעס(אַלומינאַ 99.8%):
| פאַרמאָג | ווערט |
| מאַטעריאַל | 99.8% Al₂O₃ אדער Si₃N₄ |
| לענג | 10 – 100 מ״מ |
| דיאַמעטער | 1 – 10 מ״מ |
| שפּיץ פאָרעם | פלאַך, האַלבקוגלדיק, שפּיציק |
| קאָמפּרעסיוו שטאַרקייט (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| מאַקסימום אַפּערייטינג טעמפּעראַטור (Al₂O₃) | 1600°C |
| ייבערפלאַך ענדיקן | איבערגעלאַפּט (ראַ ≤0.4 מיקראָמעטער) |
| טאָלעראַנץ אויף דיאַמעטער | ±0.01 מ״מ |
אַפּליקאַציעס:
הייבן פּינס אין CVD/PVD קאַמערן
שטיצע שפּילקעס פֿאַר הייסע פּלאַטע באַקן
פּראָבע קאַרטל שטיצע סטרוקטורן
קוואַרץ אויוון שיפל שטיצעס
פאַבריקאַציע:
פּרעציזיע צענטערלאָז גרינדינג פון OD → דימענט גרינדינג פון שפּיץ פּראָפיל → אַלטראַסאַניק רייניקונג → 100% דימענסיאָנאַל דורכקוק.
קוואַליטעט קאָנטראָל:
CMM פֿאַר לענג/דיאַמעטער, אָפּטישער קאָמפּאַראַטאָר פֿאַר שפּיץ ראַדיוס, לאַסט טעסטינג צו וועריפיצירן קאַמפּרעסיוו שטאַרקייט (ראַנדאָם מוסטער פּער לאָט). קיין פעראָמאַגנעטישע קאַנטאַמאַניישאַן (וועריפיצירט מיט מאַגנעט).
מעלות איבער מעטאַל אָדער קוואַרץ פּינס:
5 מאָל לענגערע לעבנסדויער ווי נישט-ראַסטיק שטאָל
קיין מעטאַל קאַנטאַמאַניישאַן אין פּראָצעס קאַמער
העכערע טעמפּעראַטור קאַפּאַציטעט ווי קוואַרץ (1600°C קעגן 1100°C)
נישט-שטעקנדיקע ייבערפלאַך (פאַרקלענערטע פּאַרטיקל אַדכיזשאַן)
קאַסטאַמייזיישאַן:
קייפל שפּיץ פּראָופיילז, געווינדעט באַזע, אָדער קאָניש שאַפט.
מיר צושטעלן אויך SiC פּינס פֿאַר עקסטרעמע פּלאַזמע סביבות.
