קאַמביינד מיט די פולשטענדיק פאָרשטעלונג אַדוואַנטידזשיז פון בעקאַבאָלעדיק אַל2אָ3 און בעאָ סאַבסטרייט מאַטעריאַלס, אַלומינום ניטרידע (אַלן) סעראַמיק, וואָס האט הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (מאָנאָקריסטאַל ס טעאָרעטיש טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי איז 275 וו / מ▪ ק, די טעאָרעטיש טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פון פּאָליקריסטאַל איז 275 וו / מ ▪ 21 ק; ), נידעריק דיעלעקטריק קעסיידערדיק, טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט מאַטשט מיט איין קריסטאַל סיליציום, און גוט עלעקטריקאַל ינסאַליישאַן פּראָפּערטיעס, איז אַן אידעאל מאַטעריאַל פֿאַר קרייַז סאַבסטרייץ און פּאַקקאַגינג אין די מיקראָעלעקטראָניק אינדוסטריע.עס איז אויך אַ וויכטיק מאַטעריאַל פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור סטראַקטשעראַל סעראַמיק קאַמפּאָונאַנץ רעכט צו דער גוט הויך טעמפּעראַטור מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס, טערמאַל פּראָפּערטיעס און כעמישער פעסטקייַט.
די טעאָרעטיש געדיכטקייַט פון AlN איז 3.26 ג / קמ 3, די MOHS כאַרדנאַס איז 7-8, די צימער טעמפּעראַטור רעסיסטיוויטי איז גרעסער ווי 1016Ωם, און די טערמאַל יקספּאַנסיוואַטי איז 3.5 × 10-6 / ℃ (צימער טעמפּעראַטור פון 200 ℃).ריין עלן סעראַמיקס זענען בלאַס און טראַנספּעראַנט, אָבער זיי וואָלט זיין פאַרשידן פארבן ווי גרוי, גריייש ווייַס אָדער ליכט געל, רעכט צו דער ימפּיוראַטיז.
אין אַדישאַן צו הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, AlN סעראַמיקס אויך האָבן די פאלגענדע אַדוואַנטידזשיז:
1. גוט עלעקטריקאַל ינסאַליישאַן;
2. ענלעך טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט מיט סיליציום מאָנאָקריסטאַל, העכער צו מאַטעריאַלס ווי אַל2אָ3 און בעאָ;
3. הויך מעטשאַניקאַל שטאַרקייַט און ענלעך פלעקסוראַל שטאַרקייַט מיט אַל2אָ3 סעראַמיקס;
4. מעסיק דיעלעקטריק קעסיידערדיק און דיעלעקטריק אָנווער;
5. קאַמפּערד מיט בעאָ, די טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פון עלן סעראַמיקס איז ווייניקער אַפעקטאַד דורך טעמפּעראַטור, ספּעציעל העכער 200 ℃;
6. הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל און קעראָוזשאַן קעגנשטעל;
7. ניט-טאַקסיק;
8. זיין געווענדט צו סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, כעמישער מעטאַלערדזשי אינדוסטריע און אנדערע ינדאַסטרי פעלדער.
פּאָסטן צייט: יולי 14-2023