צוזאַמען מיט די קאָמפּרעהענסיווע פאָרשטעלונג אַדוואַנידזשיז פון טראַדיציאָנעלע Al2O3 און BeO סאַבסטראַט מאַטעריאַלס, אַלומינום ניטריד (AlN) קעראַמיק, וואָס האט הויך טערמישע קאַנדאַקטיוויטי (מאָנאָקריסטאַל ס טעאָרעטישע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי איז 275W/m▪k, פּאָליקריסטאַל ס טעאָרעטישע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי איז 70~210W/m▪k), נידעריק דיעלעקטריק קאָנסטאַנט, טערמישע יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט מאַטשט מיט איין קריסטאַל סיליקאָן, און גוטע עלעקטרישע ינסאַליישאַן פּראָפּערטיעס, איז אַן אידעאַל מאַטעריאַל פֿאַר קרייַז סאַבסטראַטעס און פּאַקאַדזשינג אין די מיקראָעלעקטראָניק אינדוסטריע. עס איז אויך אַ וויכטיק מאַטעריאַל פֿאַר הויך טעמפּעראַטור סטראַקטשעראַל קעראַמיק קאַמפּאָונאַנץ רעכט צו די גוטע הויך טעמפּעראַטור מעכאַנישע פּראָפּערטיעס, טערמישע פּראָפּערטיעס און כעמישער פעסטקייַט.
די טעאָרעטישע געדיכטקייט פון AlN איז 3.26 ג/קמ3, די MOHS כאַרדנאַס איז 7-8, די צימער-טעמפּעראַטור קעגנשטעל איז גרעסער ווי 1016Ωמ, און די טערמישע יקספּאַנשאַן איז 3.5×10-6/℃ (צימער טעמפּעראַטור פון 200℃). ריין AlN קעראַמיקס זענען קאָלירלאָז און טראַנספּאַרענט, אָבער זיי וואָלטן זיין פאַרשידענע פארבן ווי גרוי, גרוי-ווייס אָדער ליכט געל, רעכט צו די אומריינקייטן.
אין דערצו צו הויך טערמישע קאַנדאַקטיוויטי, האָבן AlN קעראַמיקס אויך די פאלגענדע אַדוואַנידזשיז:
1. גוטע עלעקטרישע איזאָלאַציע;
2. ענלעכע טערמישע יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט מיט סיליקאָן מאָנאָקריסטאַל, העכער ווי מאַטעריאַלן ווי Al2O3 און BeO;
3. הויך מעכאנישע שטאַרקייט און ענלעכע בייג שטאַרקייט מיט Al2O3 קעראַמיק;
4. מיטלמעסיגע דיעלעקטרישע קאנסטאנטע און דיעלעקטרישע פארלוסט;
5. קאַמפּערד מיט BeO, די טערמישע קאַנדאַקטיוויטי פון AlN קעראַמיק איז ווייניקער אַפעקטאַד דורך טעמפּעראַטור, ספּעציעל העכער 200 ℃;
6. הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל און קעראָוזשאַן קעגנשטעל;
7. נישט-טאַקסיש;
8. זיין געווענדט צו האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, כעמישער מעטאַלורגיע אינדוסטריע און אנדערע אינדוסטריעלע פעלדער.
פּאָסט צייט: 14טן יולי 2023