אַלומינאַ גאַז פאַרשפּרייטונג פּלאַטע פֿאַר CVD/PVD שפּריץ קאָפּ
סט. סעראַ'ס גאַז פאַרשפּרייטונג פּלאַטע (שפּריץ קאָפּ) איז פּרעציזיע-מאַשינד פֿון הויך-ריינקייט 99.8% אַלומינאַ קעראַמיק. עס פֿעיִטשערט אַן אַרעי פֿון מיקראָ-לעכער (דיאַמעטערס 0.3-1.5 מם) וואָס ענשור אַ גלייכמעסיקן גאַז פֿלוס איבער די וועיפֿער ייבערפלאַך בעת CVD, PVD, אָדער ALD פּראָצעסן. די פּלאַטע'ס הויך דיעלעקטרישע שטאַרקייט (>15×10⁶ V/m) און פּלאַזמע קעגנשטעל מאַכן עס וויכטיק פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר דין-פֿילם דעפּאָזיציע.
ספּעציפֿיקאַציעס:
| פאַרמאָג | ווערט |
| מאַטעריאַל | 99.8% Al₂O₃ אדער SiC |
| דיאַמעטער | 100 – 1500 מ״מ (קייַלעכדיק) אָדער רעכטעקיק |
| גרעב | 5 – 20 מ״מ |
| לאָך דיאַמעטער | 0.3 – 1.5 מ״מ |
| לאָך מוסטער | מנהג (טרייעקיג, קוואַדראַטיש, ראַדיאַל) |
| פלאַכקייט | ≤10 מיקראָמעטער איבער פולער שטח |
| ייבערפלאַך ראַפנאַס | ראַ ≤0.6 מיקראָמעטער (גאַז זײַט) |
| אָפן שטח פאַרהעלטעניש | 5–15% |
אַפּליקאַציעס:
PECVD שפּריץ־קאָפּ פּלאַטעס
ALD גאז אינדזשעקטארן
עטש קאַמער גאַז פאַרשפּרייטונג פּלאַטעס
MOCVD רעאַקטאָר קאָמפּאָנענטן
פאַבריקאַציע:
אַלומינאַ סאַבסטראַט איבערגעלאַפּט פלאַך → CNC דרילינג מיט דיאַמאָנט-באדעקטע מכשירים (לאָך פּאָזיציע טאָלעראַנץ ±0.02 מם) → דעבוררינג → אַלטראַסאַניק רייניקונג → קלאַס 100 פּאַקקאַגינג.
קוואַליטעט קאָנטראָל:
יעדע פּלאַטע ווערט 100% אינספּעקטירט אויף לאָך גרייס (וויזשאַן סיסטעם), פלאַכקייט (לאַזער אינטערפֿעראָמעטער), און גאַז שטראָם איינהייטלעכקייט (דרוק מאַפּינג). קיין מיקראָ-ריסן אונטער 20x מיקראָסקאָפּ.
מעלות איבער מעטאַל פּלאַטעס:
קיין מעטאַלישע קאַנטאַמאַניישאַן אין דין פילמען
נידעריקער פּאַרטיקל דזשענעריישאַן (קיין קעראָוזשאַן פלאַקעס)
קען אויסהאַלטן אַגרעסיווע רייניקונג פּלאַזמעס (CF₄, NF₃)
אייגענע פֿעיִטשערז:
הינטערשטע גאז קאנאלן, קעגן-געבוירענע לעכער, ברעג-זיגלען, און פארשידענע מאטעריאל-קלאסן (SiC פאר העכערע טערמישע קאנדוקטיוויטעט, Y₂O₃ באדעקן פאר פלאזמע-קעגנשטעל).
מיר צושטעלן CAD וועריפיקאַציע און פלוס סימיאַליישאַן איידער מאַנופאַקטורינג.
