הויך-ריינקייט אַלומינאַ קעראַמיש רינג פֿאַר CVD / PVD פּראָצעס קאַמערן
סט. סעראַ'ס קעראַמישער רינג איז ספּעציעל דיזיינד פֿאַר נוצן אין CVD (כעמישע דאַמפער דעפּאַזישאַן) און PVD (פיזישע דאַמפער דעפּאַזישאַן) פּראָצעס קאַמערן. פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃), דינט דער רינג ווי אַ קאַמער ליינער, פאָקוס רינג, אָדער פּראָצעס קיט קאָמפּאָנענט צו באַגרענעצן פּלאַזמע און באַשיצן קאַמער ווענט פון עראָוזיע. דער מאַטעריאַל אָפפערס ויסגעצייכנט פּלאַזמע קעגנשטעל, הויך דיעלעקטריק שטאַרקייט (15×10⁶ V/m), און טערמישע פעסטקייט ביז 1600°C, וואָס ענשורז אַ לאַנג דינסט לעבן אין אַגרעסיוו פלאָרין-באַזירט פּלאַזמע ינווייראַנמאַנץ. פּינטלעכע דימענשאַנאַל טאָלעראַנסעס (±0.05 מם אויף ID/OD) און פלאַךקייט (≤10 μm) געבן קאָנסיסטענט וועיפער ברעג פּאַזישאַנינג, פֿאַרבעסערן דעפּאַזישאַן יונאַפאָרמאַטי און רעדוצירן פּאַרטיקל דזשענעריישאַן.
ספּעציפֿיקאַציעס (באַזירט אויף 99.8% Al₂O₃):
| פאַרמאָג | ווערט |
| מאַטעריאַל | 99.8% אַלומינאַ (עלפֿענביין) |
| געדיכטקייט | 3.93 ג/קמ³ |
| וואַסער אַבזאָרפּציע | 0% |
| בייגונג שטאַרקייט | 361 MPa |
| בראָך טאַפנאַס | 3–4 MPa·m¹/² |
| וויקערס כאַרדנאַס | 16 GPa |
| יונגס מאָדולוס | 380 GPa |
| טערמישע קאַנדאַקטיוויטי | 32 וואט/מ·ק |
| טערמישע עקספּאַנשאַן (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| דיעלעקטרישע שטאַרקייט | 15×10⁶ V/m |
| ספּעציפֿישער קעגנשטעל | >10¹⁴ Ω·cm |
| מאַקסימום אַפּערייטינג טעמפּעראַטור | 1600°C |
אַפּליקאַציעס:
- · CVD קאַמער פאָקוס רינגען און ברעג רינגען
- · PVD קאַמער שילד רינגען און קלאַמער רינגען
- · עטש קאַמער ליינערז און דעקל רינגען
- פּלאַזמע קאַנפיינמאַנט רינגען אין דיעלעקטרישע עטשינג סיסטעמען
פּראָדוקציע פּראָצעס:
איזאָסטאַטיש פּרעסן → גרין מאַשינינג → סינטערינג ביי 1600°C → CNC ID/OD גרינדינג → ייבערפלאַך לעפּינג → אַלטראַסאַניק רייניקונג → 100% CMM דורכקוק. אולטראַ-גלאַט ייבערפלאַך ענדיקונג (Ra ≤0.4 μm) מינאַמייזיז פּאַרטיקל אַדכיזשאַן.
קוואַליטעט קאָנטראָל:
- · 100% דימענסיאָנעל קאָנטראָל (אינטערעס, אָד, גרעב, פלאַכקייט)
- · פאַרב דורכדרינגענדיקער דורכקוק פֿאַר ייבערפלאַך מיקראָ-ריסן
- · דיעלעקטרישע שטאַרקייט טעסט לויט ASTM D149
- קיין קענטיקע פארפארבונג אדער פאראזיטעט אונטערן 20× מיקראסקאפ
מעלות איבער מעטאַל אָדער קוואַרץ רינגען:
- 5–10 מאָל לענגערע לעבנסדויער ווי אַלומינום רינגען אין פלאָרין פּלאַזמע
- קיין מעטאַל קאַנטאַמאַניישאַן אין דין פילמען
- העכערע פּלאַזמע קעגנשטעל ווי קוואַרץ (קיין עראָוזיע גרובן)
- · האַלט עלעקטרישע איזאָלאַציע >10¹⁴ Ω·cm אפילו נאָך לאַנג-טערמין נוצן
אַלטערנאַטיוו מאַטעריאַל — סיליקאָן ניטריד (Si₃N₄):
פֿאַר אַפּליקאַציעס וואָס דאַרפן נאָך העכערע בראָך-טאַפנאַס (6.2 MPa·m¹/²) און בעסערע טערמישע שאָק קעגנשטעל (עקספּאַנסיע קאָעפיציענט 3.2×10⁻⁶/℃), זענען Si₃N₄ רינגען בנימצא. אָבער, אַלומינאַ איז מער קאָסטן-עפעקטיוו פֿאַר רובֿ CVD/PVD אַפּליקאַציעס. ביטע ספּעציפֿיצירן מאַטעריאַל פּרעפֿערענץ ווען איר אָרדערט.
קאַסטאַמייזיישאַן:
- דורך-לעכער, טרעפּ-פּראָפֿילן, אָדער קאַונטערבאָרעס פֿאַר מאַונטינג
- · Y₂O₃-באדעקטע ייבערפלאַך פֿאַר פֿאַרבעסערטע פּלאַזמע קעגנשטעל (אָפּציאָנאַל)
- · לאַזער גראַווירונג פון טייל נומער / לאָט קאָד
באַמערקונג:די אויבנדערמאנטע דאטן פאלגן שטרענג די צוגעשטעלטע Al₂O₃ אייגנשאפטן טאבעלע. פאר Si₃N₄ רינגען, זעט די באזונדערע Si₃N₄ דאטן-בלאט וואס איז צוגעשטעלט געווארן.
