בערנולי קעראַמיש ענד עפֿעקטאָר — ניט-קאָנטאַקט וועיפֿער האַנדלינג פֿאַר דין און שוואַך וועיפֿערס

סט. סעראַ'ס בערנולי קעראַמישער ענד עפעקטאָר ניצט אַעראָדינאַמישן ליפט צו שעפּן וועיפערס אָן גשמיותן קאָנטאַקט. פאַבריצירט פון הויך-ריינקייט 99.8% אַלומינאַ (Al₂O₃) אָדער סיליקאָן קאַרבייד (SiC), עס פֿעיִקייטן פּרעציזיע-מאַשינד נאַזאַלז וואָס אַרויסוואַרפן דרוק גאַז צו שאַפֿן אַ דין לופט פילם צווישן דעם ענד עפעקטאָר און די וועיפער. דעם ניט-קאָנטאַקט פּרינציפּ עלימינירט הינטערשטן קאַנטאַמאַניישאַן, קאַנט טשיפּינג, און ייבערפלאַך שעדיקן, מאכן עס ידעאַל פֿאַר דין (≤100 μm), שוואַך, אָדער וואָרפּט וועיפערס. די קעראַמישע סאַבסטראַט גיט הויך בייגן שטאַרקייַט (361 MPa פֿאַר Al₂O₃; אַרויף צו 550–600 MPa פֿאַר SiC), נידעריק מאַסע, און ויסגעצייכנט דימענשאַנאַל פעסטקייַט, ינשורינג ריפּיטאַבאַל פּאַזישאַנינג אין הויך-גיכקייַט וועיפער אַריבערפירן ראָבאָץ.

נאטיץ וועגן מאַטעריאַלן:אַלומינאַ (Al₂O₃) איז דער מערסט וויידלי גענוצטער מאַטעריאַל פֿאַר קעראַמישע ענד עפֿעקטאָרן אין האַלב-קאָנדוקטאָר וועיפֿער האַנדלינג צוליב זיין אויסגעצייכנטער קאָמבינאַציע פֿון כאַרטקייט, עלעקטרישע איזאָלאַציע, כעמישע פעסטקייט און קאָסטן-עפֿעקטיווקייט. סיליקאָן קאַרבייד (SiC) אָפערט העכערע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי, העכערע כאַרטקייט און אפילו בעסערע טראָגן קעגנשטעל פֿאַר די מערסט פאָדערונגען. כאָטש יטריאַ-סטאַביליזירטע זירקאָניאַ (ZrO₂) אָפערט הויך בראָך טאַפנאַס ביי צימער טעמפּעראַטור, ווערט עס ווייניקער אָפט גענוצט אין דעם אַפּליקאַציע צוליב זיין העכערער געדיכטקייט און פֿאַרשידענע טערמישע יקספּאַנשאַן קעראַקטעריסטיקס; עס קען זיין באַטראַכט פֿאַר ספּעציפֿישע סינעריאָוז וווּ אויסערגעוויינלעכע בראָך טאַפנאַס איז פארלאנגט. ביטע באַראַטן זיך מיט אונדזער טעכנישער מאַנשאַפֿט פֿאַר מאַטעריאַל סעלעקציע גיידאַנס.

ספּעציפֿיקאַציעס(באַזירט אויף 99.8% אַל₂O₃):

אפערירנדיק פּרינציפּ:

קאמפרעסט לופט אדער שטיקשטאף (0.2–0.6 MPa) ווערט צוגעשטעלט דורך אינערליכע קאנאלן און גייט ארויס דורך פּרעציזיע נאָזלעך. דער פארשנעלטער לופט שטראָם שאַפט אַ נידעריק-דרוק זאָנע העכער דעם ענד עפעקטאָר (בערנולי עפעקט), וואָס דזשענערירט ליפטינג קראַפט וואָס שטיצט דעם וועיפער ביי אַ שפּאַלט פון 50–200 מיקראָמעטער. קיין וואַקוום לעכער אדער פּאַדס קומען נישט אין קאָנטאַקט מיט דער וועיפער הינטערשטער זייט.

אַפּליקאַציעס:

• · האַנדלינג פון דין וועיפער (≤50 מיקראָמעטער) נאָך גרינדינג אויף די הינטערשטע זייט
• · פארדרייטע וועיפער טראנספארט (למשל, נאך CVD אדער אננינג)
• · זונ - צעל און LED סאַפייער סאַבסטראַט אַריבערפירן
• · ריינרום אויטאמאציע וואס פארלאנגט נול פארטיקל דזשענעריישאַן
• · גלאָז פּאַנעל האַנדלינג אין דיספּליי מאַנופאַקטורינג

פּראָדוקציע פּראָצעס:

קעראַמיש סאַבסטראַט געסינטערט פון הויך-ריינקייט פּודער → 5-אַקס CNC מאַשינינג פון גאַז קאַנאַלן און נאָזל לעכער (דיאַמעטער 0.3–1.0 מם, טאָלעראַנץ ±0.01 מם) → ייבערפלאַך לאַפּינג צו Ra ≤0.4 μm → אַלטראַסאַניק רייניקונג → העליום ליק טעסט (גאַז קאַנאַלן). קיין קאָוטינג פארלאנגט — די נאַקעטע קעראַמיש ייבערפלאַך איז כעמיש ינערט און נישט-קאַנטאַמאַנייטינג.

קוואַליטעט קאָנטראָל:

• · 100% דימענסיאָנעלע דורכקוק (CMM) פון די נאָזל פּאָזיציעס, אָרעם לענג, און פלאַכקייט
• · לופט שטראָם איינהייטלעכקייט טעסט: דרוק פאַל ≤5% אַריבער אַלע נאַזאַלז
• · ליק טעסט: גאז קאנאלן פארזיגלט ביי 0.6 MPa, קיין דרוק פאל איבער 30 סעקונדעס
• · וויזועלע דורכקוק אונטער 20× מיקראָסקאָפּ פֿאַר מיקראָ-ריסן אָדער גראָזן

Aמעלות איבער קאַנווענשאַנאַל קאָנטאַקט ענד עפעקטאָרס:

• · קיין ווייפער הינטערשטער קאנטאמינאציע — קיין מעכאנישע קאנטאקט
• קיין ברעג טשיפּינג אָדער ברייקידזש פון דין וועיפערס
• · האַנדלט מיט קרומע וועיפערס (ביז 1 מ"מ בויגן) מיט אַ סטאַבילער שפּאַלט
• · עלימינירט וואַקוום גענעראַטאָר און פּאָרעז טשאַק וישאַלט
• · קעראַמישע קאָנסטרוקציע איז קעגנשטעליק קעגן טראָגן און כעמישע אַטאַקעס

קאַסטאַמייזיישאַן:

• · בנימצא פֿאַר 200 מם, 300 מם, אָדער מנהג וועיפער סיזעס
• · גאז נאָזל פּאַטערנז: גלייַך, ווינקלדיק, אָדער וואָרטעקס טייפּס
• · מאַטעריאַלן: אַלומינאַ (סטאַנדאַרט) אָדער סיליקאָן קאַרבייד (פֿאַר העכסטן טערמישן קאַנדאַקטיוויטי און טראָגן קעגנשטעל)
• · אָרעם לענג, מאַונטינג פלאַנדזש, און גאַז פּאָרט אָרט לויט OEM צייכענונג

לימיטאַציעס:

די בערנולי פרינציפּ אימפּלעמענטאַציע (נאָזל פּלאַן, לופט שפּאַלט) איז ווייטער פון די פאַרנעם פון די צוגעשטעלטע מאַטעריאַל אייגנשאַפט טאַבעלעס. די מעכאַנישע און טערמישע אייגנשאַפטן אויבן נאָכפאָלגן שטרענג די צוגעשטעלטע דאַטאַשיץ פֿאַר 99.8% Al₂O₃. קיין פאָרשטעלונג דעגראַדאַציע פון ​​​​די קעראַמיק אונטער דרוק גאַז לויפן איז נישט געריכט באַזירט אויף די מאַטעריאַל אייגנשאַפטן. פֿאַר וועיפערז סענסיטיוו צו גאַז לויפן (למשל, MEMS מיט שוואַך סטרוקטורן), גאַז דרוק און נאָזל פּלאַן זאָל זיין אַדזשאַסטיד אַקאָרדינגלי.