הויך-ריינקייט אַלומינאַ קאַמער פאָקוס רינג פֿאַר פּלאַזמע עטש און CVD סיסטעמען
סט. סעראַ'ס קאַמער פאָקוס רינג איז אַ קריטישער פּראָצעס קיט קאָמפּאָנענט געניצט אין פּלאַזמע עטש, CVD, און PVD האַלב-קאָנדוקטאָר ויסריכט. פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃), דער רינג אַרומרינגלט די וועיפער ברעג צו באַגרענעצן פּלאַזמע און אָפּטימיזירן יאָן ווינקל פאַרשפּרייטונג, דערמיט פֿאַרבעסערן עטש יוניפאָרמאַטי אַריבער די וועיפער ייבערפלאַך. דער מאַטעריאַל אָפפערס אויסערגעוויינלעך פּלאַזמע קעגנשטעל, הויך דיעלעקטריק שטאַרקייט (15×10⁶ V/m), און טערמישע פעסטקייט ביז 1600°C, וואָס ענשורז לאַנג-טערמין רילייאַבילאַטי אין אַגרעסיוו פלאָרין- אָדער קלאָרין-באַזירט פּלאַזמע ינווייראַנמאַנץ. פּרעציזשאַן-גראַונד ID/OD און פלאַךקייט (≤10 μm) געבן פּינטלעך וועיפער ברעג פּאַזישאַנינג, רעדוצירן ברעג חסרונות און פּאַרטיקל דזשענעריישאַן.
ספּעציפֿיקאַציעס(באַזירט אויף 99.8% אַל₂O₃):
| פאַרמאָג | ווערט |
| מאַטעריאַל | 99.8% אַלומינאַ (עלפֿענביין) |
| געדיכטקייט | 3.93 ג/קמ³ |
| וואַסער אַבזאָרפּציע | 0% |
| בייגונג שטאַרקייט | 361 MPa |
| בראָך טאַפנאַס | 3–4 MPa·m¹/² |
| וויקערס כאַרדנאַס | 16 GPa |
| יונגס מאָדולוס | 380 GPa |
| טערמישע קאַנדאַקטיוויטי | 32 וואט/מ·ק |
| טערמישע עקספּאַנשאַן (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| דיעלעקטרישע שטאַרקייט | 15×10⁶ V/m |
| ספּעציפֿישער קעגנשטעל | >10¹⁴ Ω·cm |
| מאַקסימום אַפּערייטינג טעמפּעראַטור | 1600°C |
אַפּליקאַציעס:
- · דיעלעקטרישע עטש קאַמער פאָקוס רינגען (אָקסייד, ניטריד עטש)
- סיליקאָן עטש קאַמער ראַנד רינגען
- · CVD קאַמער פּראָצעס קיט רינגען
- · PVD קאַמער שילד און קלאַמער רינגען
פּראָדוקציע פּראָצעס:
הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער ווערט איזאָסטאַטיש געפּרעסט → גרין מאַשינד צו כּמעט-נעץ פאָרעם → סינטערד ביי 1600°C → CNC דיאַמאָנט גרינדינג פון ID, OD, און גרעב → לעפּינג צו דערגרייכן פלאַכקייט ≤10 μm → אַלטראַסאַניק רייניקונג → 100% CMM דורכקוק. ייבערפלאַך ענדיקן Ra ≤0.4 μm מינאַמייזיז פּאַרטיקל אַדכיזשאַן.
קוואַליטעט קאָנטראָל:
- · 100% דימענסיאָנעלע דורכקוק (אינטערעס, אָד, גרעב, פּאַראַלעליזם)
- · פאַרב דורכדרינגענדיקער טעסט פֿאַר מיקראָ-ריסן (קיין ריסן ערלויבט)
- · וויזועלע דורכקוק אונטער 20× מיקראָסקאָפּ — קיין שפּליטערס, ליידיגע פלעקן, אדער פארפארבונג
- · דיעלעקטרישע שטאַרקייט טעסט לויט ASTM D149 (סאַמפּלינג)
מעלות איבער סיליקאָן אָדער קוואַרץ פאָקוס רינגען:
- 5–10 מאָל לענגערע לעבנסדויער אין פלאָראָקאַרבאָן פּלאַזמע
- קיין קאָנסומאַבלע עראָוזיע פּאַרטיקאַלז צו קאַנטאַמאַנירן וועיפערז
- העכערע דיעלעקטרישע שטאַרקייט פאַרהיט בויגן
- · האַלט פלאַכקייט און דימענסיאָנעלע אַקיעראַסי איבער טויזנטער פון RF שעה
אַלטערנאַטיוו מאַטעריאַל — יטריאַ-סטאַביליזירטע זירקאָניאַ (ZrO₂):
פֿאַר אַפּליקאַציעס וואָס דאַרפן העכערע בראָך-טאַפנאַס (למשל, קאַמערן מיט אָפטע טערמישע ציקל אָדער מעכאַנישע קלאַפּן), זענען ZrO₂ פאָקוס-רינגען (דענסיטי 6.03 ג/קמ³, בייג-שטאַרקייט 1000 MPa, בראָך-טאַפנאַס 5–8 MPa·m¹/²) בנימצא. אָבער, אַלומינאַ אָפפערס בעסערע קאָסטן-עפעקטיווקייט און איז דער אינדוסטריע-סטאַנדאַרט פֿאַר רובֿ פאָקוס-רינג אַפּליקאַציעס.
קאַסטאַמייזיישאַן:
- · שריט פּראָפֿילן, קאַונטערבאָרעס, אָדער מאַונטינג לעכער לויט קונה צייכענונג
- · Y₂O₃ קאָוטינג פֿאַר פֿאַרבעסערט פּלאַזמע עראָוזיע קעגנשטעל (גרעב 20–100 מיקראָמעטער)
- · לאַזער מאַרקינג פון טייל נומער, דאַטע קאָד, אָדער אַליינמאַנט מאַרקס
באַמערקונג:אַלע דאַטן פֿאָלגן שטרענג די צוגעשטעלטע Al₂O₃ אייגנשאַפֿט טאַבעלע. פֿאַר ZrO₂ ספּעציפֿיקאַציעס, זעט די צוגעשטעלטע זירקאָניאַ דאַטן בלאַט. פֿאָקוס רינג דיזיינז קען דאַרפֿן פּאַטענט קלאַראַנס — קאַסטאַמערז זענען פֿאַראַנטוואָרטלעך פֿאַר וועריפֿיצירן אינטעלעקטואַלע פאַרמאָג רעכט.
