-
אַלומינאַ הויך-פּרעציציע קעראַמיק רינג קעראַמיק טיילן
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
ST.CERA קאַסטאַמייזד האַלבקאָנדוקטאָר עקוויפּמענט קעראַמיק טשאַקס
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
סיליקאָן קאַרבייד (SiC) קעראַמיש ענד עפֿעקטאָר – הויכע שטייפֿקייט פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור וואַפֿער האַנדלינג
סט. סעראַ'ס SiC קעראַמישער ענד עפעקטאָר איז פאַבריצירט פון הויך-ריינקייט סיליקאָן קאַרבייד (SiC אינהאַלט 99.72%, פריי Si 0.05%) ניצנדיק דעם S1111 באַטש מאַטעריאַל. עס אָפפערס אויסערגעוויינלעכע מעכאַנישע אייגנשאַפטן: בייג שטאַרקייט 449 MPa (געמאָסטן), עלאַסטיש מאָדולוס 457 GPa (געמאָסטן), און וויקערס כאַרדנאַס 25-28 GPa (טיפּיש). די נידעריקע געדיכטקייט (3.10-3.15 ג/cm³, טיפּיש) גיט אַ הויך ספּעציפישע שטייפקייט, ידעאַל פֿאַר הויך-גיכקייַט וועיפער אַריבערפירן ראָבאָטן. מיט טערמישער קאַנדאַקטיוויטי פון 120-150 W/m·K (טיפּיש) און טערמישער יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט פון 4.0-4.5×10⁻⁶/℃ (טיפּיש), דעם ענד עפעקטאָר יפעקטיוולי דיסאַפּייץ היץ און מיינטיינז דימענשאַנאַל פעסטקייַט בעשאַס הויך-טעמפּעראַטור האַנדלינג (ביז 1600-1700°C, קיין לאָוד). די שוואַרץ/גרוי קאָליר און נול וואַסער אַבזאָרפּשאַן ענשור ריין צימער קאַמפּאַטאַבילאַטי.
-
סיליקאָן קאַרבייד (SiC) באַזירט וואַקוום טשאַק פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור און פּלאַזמע סביבות
סט. סעראַ'ס SiC-באזירט קעראַמיש טשאַק איז פאַבריצירט פון הויך-ריינקייט סיליקאָן קאַרבייד (פּאַרטיע S1111, SiC 99.72%, פריי Si 0.05%). עס גיט אַ געמאסטענע בייגונג שטאַרקייט פון 449 MPa, בראָך טאַפנאַס פון 3.12 MPa·m¹/², און עלאַסטיש מאָדולוס פון 457 GPa. די מאַטעריאַל'ס טיפּיש טערמישע קאַנדאַקטיוויטי (120–150 W/m·K) און נידעריק טערמיש יקספּאַנשאַן (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ערמעגלעכן שנעל טעמפּעראַטור ראַמפּינג און מינימאַל וועיפער וואָרפּאַדזש בעשאַס טערמיש סייקלינג. די טשאַק קען זיין קאַנפיגיערד ווי אַ פּאָרעז וואַקוום טשאַק (יוניפאָרם גאַז לויפן) אָדער אַ גראָוווד סטאַנדאַרט טשאַק. מיט אַ מאַקסימום נוצן טעמפּעראַטור פון 1600–1700°C (קיין לאָוד) און אויסערגעוויינלעך פּלאַזמע עראָוזשאַן קעגנשטעל, איז דאָס טשאַק ידעאַל פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור וועיפער פּראַסעסינג (אַנילינג, RTP) און אַגרעסיוו עטש טשיימבערז וווּ אַלומינאַ טשאַקס דעגראַדירן.
-
האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט קעראַמיש ספּער טיילן קעראַמיש טרעגערס
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
מעטאַל-געשטיצטע אַלומינאַ קעראַמישע גרינדינג רינג פֿאַר הויך-רידזשידיטי לאַפּינג אַפּלאַקיישאַנז
סט. סעראַ'ס מעטאַל-באַזירטער אַלומינאַ גרינדינג רינג קאָמבינירט אַ הויך-ריינקייט אַלומינאַ (99.8% Al₂O₃) קעראַמישע טראָגן שיכט מיט אַ פּרעציזיע-מאַשינד מעטאַל באַקינג (טיפּיקלי אַלומינום אָדער ומבאַפלעקט שטאָל). דעם כייבריד פּלאַן גיט די אויסערגעוויינלעכע טראָגן קעגנשטעל און כעמישער ינערטנאַס פון קעראַמיק אויף די גרינדינג ייבערפלאַך, בשעת די מעטאַל באַזע מוסיף מעטשאַניקאַל שטאַרקייט, גרינג מאַונטינג, און קעגנשטעל צו שוואַכקייַט ברייקידזש. די אַלומינאַ שיכט אָפפערס בייגן שטאַרקייט פון 361 MPa, וויקערס כאַרדנאַס פון 16 GPa, און טערמאַל פעסטקייַט אַרויף צו 800°C. די מעטאַל באַזע איז קאַסטאַמייזד מיט מאַונטינג לעכער, לאָוקייטינג פּינס, אָדער מאַגנעטישע פּראָפּערטיעס פֿאַר ינטאַגריישאַן אין לעפּינג מאַשינען, פּלאַנעטאַר גרינדערס, און CMP ויסריכט.
-
קעראַמישע רעזערוו טיילן פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָבע סטאַנציע עקוויפּמענט
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
קאַסטאַמייזד פּראַסעסינג פון Al2O3 קעראַמיש וואַפער טשאַק
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
ST.CERA קאַסטאַמייזד האַלבקאָנדוקטאָר עקוויפּמענט קעראַמיק פּלאַטע
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
12-אינטש אַלומינאַ וואַקוום טשאַק פֿאַר 300 מם וואַפער פּראַסעסינג
סט. סעראַ'ס 12-אינטש וואַקוום טשאַק איז פּרעציזיע-אינזשענירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃) פֿאַר 300 מם וועיפער האַנדלינג. דער טשאַק פֿאַרמאָגט אַ פייַן-גרובעד ייבערפלאַך (גרוב ברייט 0.5-1.0 מם, פּיטש 2-3 מם) צו ענשור מונדיר וואַקוום פאַרשפּרייטונג איבער די גאנצע 300 מם דיאַמעטער. פלאַכקייט איז מיינטיינד ין 5 μm, וואָס אַלאַוז וואָרפּ-פֿרייַ וועיפער פיקסיישאַן בעשאַס דייסינג, באַקסייד גרינדינג, און דורכקוק. די מאַטעריאַל ס הויך בייגן שטאַרקייַט (361 MPa) און כאַרדנאַס (16 GPa) גאַראַנטירן לאַנג-טערמין דימענשאַנאַל פעסטקייַט אפילו אונטער ריפּיטיד וואַקוום סייקאַלז.
-
אַלומינאַ קעראַמיש ענד עפֿעקטאָר מיט אינטעגרירטע וואַקוום קאַנאַלן
סט. סעראַ'ס אַלומינאַ וואַקוום ענד עפֿעקטאָר אינטעגרירט פּרעציזיע-מאַשינד וואַקוום קאַנאַלן און סאַקשאַן לעכער גלייך אין די 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ גוף. דעם פּלאַן עלימינירט פונדרויסנדיק וואַקוום פּאַדס, וואָס ערמעגליכט דירעקט וועיפער פּיקאַפּ מיט מונדיר האַלטן קראַפט. די מאַטעריאַל ס הויך בייגן שטאַרקייט (361 MPa) און כאַרדנאַס (16 GPa) ענשור לאַנג-טערמין דימענשאַנאַל פעסטקייַט אונטער ריפּיטיד וואַקוום סייקאַלז. פלאַכקייט אַריבער די פּאַד געגנט איז מיינטיינד ין 10 μm, פּרעווענטינג וועיפער דרוק און ברייקידזש. וואַקוום פּאָרץ זענען ליגן אין די הינטערשטע מאַונטינג פלאַנדזש פֿאַר גרינג ינטאַגריישאַן מיט OEM ראָבאָט געווער.
-
ESD-זיכערע אַלומינאַ קעראַמישע טיילן פֿאַר סטאַטיק-סענסיטיוו וועיפער האַנדלינג
סט. סעראַ'ס ESD (עלעקטראָסטאַטיש אָפּזאָגן) זיכערע אַלומינאַ קעראַמיק טיילן זענען פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט Al₂O₃ מיט אַ פּאַסיק ייבערפלאַך קעגנשטעל פון 10⁶–10⁹ Ω/קוואדראט, דערגרייכט דורך אַ פּראַפּרייאַטערי דאָפּינג אָדער קאָוטינג פּראָצעס. די טיילן יפעקטיוולי דיסיפּירן סטאַטיק אָפּצאָל, פּרעווענטינג עלעקטראָסטאַטיש שעדיקן צו סענסיטיוו האַלב-קאָנדוקטאָר וועיפערז און דעוויסעס. די באַזע מאַטעריאַל ריטיינז זייַן הויך בייגן שטאַרקייַט (361 MPa), כאַרדנאַס (16 GPa), און דיעלעקטריק שטאַרקייַט (15×10⁶ V/m). ESD-זיכער קעראַמיק טיילן אַרייַננעמען ענד עפעקטאָרס, ליפט פּינס, גייד רעלס, און מנהג פיקסטשערז פֿאַר FAB אָטאַמאַציע.
