12-אינטש אַלומינאַ וואַקוום טשאַק פֿאַר 300 מם וואַפער פּראַסעסינג
סט. סעראַ'ס 12-אינטש וואַקוום טשאַק איז פּרעציזיע-אינזשענירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃) פֿאַר 300 מם וועיפער האַנדלינג. דער טשאַק פֿאַרמאָגט אַ פייַן-גרובעד ייבערפלאַך (גרוב ברייט 0.5-1.0 מם, פּיטש 2-3 מם) צו ענשור מונדיר וואַקוום פאַרשפּרייטונג איבער די גאנצע 300 מם דיאַמעטער. פלאַכקייט איז מיינטיינד ין 5 μm, וואָס אַלאַוז וואָרפּ-פֿרייַ וועיפער פיקסיישאַן בעשאַס דייסינג, באַקסייד גרינדינג, און דורכקוק. די מאַטעריאַל ס הויך בייגן שטאַרקייַט (361 MPa) און כאַרדנאַס (16 GPa) גאַראַנטירן לאַנג-טערמין דימענשאַנאַל פעסטקייַט אפילו אונטער ריפּיטיד וואַקוום סייקאַלז.
ספּעציפֿיקאַציעס (באַזירט אויף 99.8% Al₂O₃):
| פאַרמאָג | ווערט |
| דיאַמעטער | 300 מ״מ (12 אינטש) |
| מאַטעריאַל | 99.8% אַלומינאַ (עלפֿענביין) |
| געדיכטקייט | 3.93 ג/קמ³ |
| בייגונג שטאַרקייט | 361 MPa |
| וויקערס כאַרדנאַס | 16 GPa |
| פלאַכקייט (איבער 300 מם) | ≤5 מיקראָמעטער |
| גרוב ברייט | 0.5–1.0 מ״מ |
| מאַקסימום אַפּערייטינג טעמפּעראַטור | 800°C |
| דיעלעקטרישע שטאַרקייט | 15×10⁶ V/m |
אַפּליקאַציעס:
300 מם וועיפער דייסינג און סקרייבינג
וואַפער הינטערשטער טייל גרינדינג (דין וואַפער שטיצע)
אָפּטישע דורכקוק און פּראָובינג
צייטווייליגע בונדינג/דעבונדינג טשאַקס
פאַבריקאַציע:
סי-ען-סי געשליפן און געלאַפּט ביז לעצטן פלאַכקייט, געגרובט מיט דיאַמאָנט רעדער, אולטראַסאָניקאַל גערייניקט, און פּאַקידזשד אין קלאַס 100 ריינצימער. יעדער טשאַק איז 100% ינספּעקטעד פֿאַר פלאַכקייט (לאַזער ינטערפעראָמעטער) און גרוב טיפקייט (פּראָפילאָמעטער).
מעלות:
נידעריקע פּאַרטיקל דזשענעריישאַן (≤0.05 פּאַרטיקלעך/קמ²)
כעמיש אינערט צו סאָלווענטן און זויערן
ESD-זיכערע ייבערפלאַך (קעגנשטעל >10¹³ Ω·cm)
מנהג וואַקוום לאָך פּאַטערנז און הינטן פּאָרץ בנימצא.
