סיליקאָן קאַרבייד (SiC) באַזירט וואַקוום טשאַק פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור און פּלאַזמע סביבות
סט. סעראַ'ס SiC-באזירט קעראַמיש טשאַק איז פאַבריצירט פון הויך-ריינקייט סיליקאָן קאַרבייד (פּאַרטיע S1111, SiC 99.72%, פריי Si 0.05%). עס גיט אַ געמאסטענע בייגונג שטאַרקייט פון 449 MPa, בראָך טאַפנאַס פון 3.12 MPa·m¹/², און עלאַסטיש מאָדולוס פון 457 GPa. די מאַטעריאַל'ס טיפּיש טערמישע קאַנדאַקטיוויטי (120–150 W/m·K) און נידעריק טערמיש יקספּאַנשאַן (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ערמעגלעכן שנעל טעמפּעראַטור ראַמפּינג און מינימאַל וועיפער וואָרפּאַדזש בעשאַס טערמיש סייקלינג. די טשאַק קען זיין קאַנפיגיערד ווי אַ פּאָרעז וואַקוום טשאַק (יוניפאָרם גאַז לויפן) אָדער אַ גראָוווד סטאַנדאַרט טשאַק. מיט אַ מאַקסימום נוצן טעמפּעראַטור פון 1600–1700°C (קיין לאָוד) און אויסערגעוויינלעך פּלאַזמע עראָוזשאַן קעגנשטעל, איז דאָס טשאַק ידעאַל פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור וועיפער פּראַסעסינג (אַנילינג, RTP) און אַגרעסיוו עטש טשיימבערז וווּ אַלומינאַ טשאַקס דעגראַדירן.
ספּעציפֿיקאַציעס(באַזירט אויף צוגעשטעלטן SiC S1111 טעסט באַריכט און טיפּישע ווערטן):
| פאַרמאָג | ווערט |
| מאַטעריאַל | SiC (99.72% SiC, 0.05% פרייער Si) |
| געדיכטקייט | 3.10–3.15 ג/קמ³ |
| וואַסער אַבזאָרפּציע | 0% |
| בייגונג שטאַרקייט | 449 MPa |
| בראָך טאַפנאַס | 3.12 MPa·m¹/² |
| עלאַסטישער מאָדולוס | 457 GPa |
| וויקערס כאַרדנאַס | 25–28 GPa |
| טערמישע קאַנדאַקטיוויטי | 120–150 וואט/מ²·ק |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| מאַקסימום נוצן טעמפּעראַטור (אָן לאָוד) | 1600–1700°C |
| פלאַכקייט (איבער 300 מם) | ≤5 מיקראָמעטער |
| ייבערפלאַך ענדיקן | ראַ ≤0.4 מיקראָמעטער (געלאַפּט) |
אַפּליקאַציעס:
● הויך-טעמפּעראַטור טשאַקינג (אַנילינג, RTP, עפּיטאַקסיאַל וווּקס)
● פּלאַזמע עטש טשאַק מיט הויך פלאָרין קעגנשטעל
● דין וועיפער האַנדלינג מיט מונדיר הייצונג/קילונג
● פּאָרעז טשאַק פֿאַר ניט-קאָנטאַקט וואַפער שטיצע
פאַבריקאַציע:
SiC סינטערינג → פּרעציזיע שלייפן פון פלאַכקייט און ייבערפלאַך פּראָפיל → אָפּציאָנעל פּאָרעז סטרוקטור פאָרמירונג (פֿאַר וואַקוום טשאַק) → לעפּינג → אַלטראַסאַניק רייניקונג. יעדער טשאַק איז 100% ינספּעקטיד פֿאַר פלאַכקייט (לאַזער ינטערפעראָמעטער) און וואַקוום יונאַפאָרמאַטי (פלוס טעסט).
קוואַליטעט קאָנטראָל:
● CMM דימענסיאָנעל קאָנטראָל (דיאַמעטער, גרעב, לאָך פּאָזיציעס)
● פלאַכקייט מעסטונג לויט ASTM
● העליום ליק טעסט (פֿאַר וואַקוום טשאַקס)
● בייגונג שטאַרקייט וועריפיקאַציע פּער פּאַרטיע (רעף. טעסט באַריכט)
מעלות איבער אַלומינאַ טשאַקס:
● העכערע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי (120–150 קעגן 32 W/m·K פֿאַר אַלומינאַ) – 4× שנעלערע היץ איבערפֿירונג
● נידעריקער CTE (4.0 קעגן 7.2×10⁻⁶/℃) – רעדוצירט וועיפער טערמישע דרוק
● העכערע פּלאַזמע קעגנשטעל – 10 מאָל לענגערע לעבן אין פלאָרין עטשינג
● העכערע מאַקסימום נוצן טעמפּעראַטור (1600°C קעגן 800°C פֿאַר אַלומינאַ)
קאַסטאַמייזיישאַן:
● פּאָרעז אָדער גרובעד ייבערפלאַך
● דיאַמעטער 100–450 מ״מ, קייַלעכדיק אָדער קוואַדראַטיש
● ברעג פאַרזיגלונג רינג אָדער זאָנע וואַקוום פּאַרטישאַנז
● מעטאַל באַקינג אָפּציע פֿאַר הויך-שטאַרקע מאַונטינג
אלע מעכאנישע דאטן אויבן קומען פון דעם צוגעשטעלטן טעסט באריכט (באַטש S1111). טערמישע און כאַרדנאַס ווערטן זענען טיפּיש פֿאַר דעם SiC גראַד. פּאָרעז SiC טשאַקס דאַרפן נאָך פּראַסעסינג; ביטע פרעגן פֿאַר ספּעציפֿיש פּאָראָסיטי און פּאָרע גרייס אַוויילאַביליטי.
