-
קאַסטאַמייזד פּראַסעסינג פון Al2O3 קעראַמיש וואַפער טשאַק
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
ST.CERA קאַסטאַמייזד האַלבקאָנדוקטאָר עקוויפּמענט קעראַמיק פּלאַטע
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
12-אינטש אַלומינאַ וואַקוום טשאַק פֿאַר 300 מם וואַפער פּראַסעסינג
סט. סעראַ'ס 12-אינטש וואַקוום טשאַק איז פּרעציזיע-אינזשענירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃) פֿאַר 300 מם וועיפער האַנדלינג. דער טשאַק פֿאַרמאָגט אַ פייַן-גרובעד ייבערפלאַך (גרוב ברייט 0.5-1.0 מם, פּיטש 2-3 מם) צו ענשור מונדיר וואַקוום פאַרשפּרייטונג איבער די גאנצע 300 מם דיאַמעטער. פלאַכקייט איז מיינטיינד ין 5 μm, וואָס אַלאַוז וואָרפּ-פֿרייַ וועיפער פיקסיישאַן בעשאַס דייסינג, באַקסייד גרינדינג, און דורכקוק. די מאַטעריאַל ס הויך בייגן שטאַרקייַט (361 MPa) און כאַרדנאַס (16 GPa) גאַראַנטירן לאַנג-טערמין דימענשאַנאַל פעסטקייַט אפילו אונטער ריפּיטיד וואַקוום סייקאַלז.
-
קעראַמישע רעזערוו טיילן פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָבע עקוויפּמענט
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
קעראַמיש פּלאַטע האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט טרעגער
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט קעראַמיש ספּער טיילן
געשאפן דורך קאלט איזאסטאטיש פרעסן און סינטערטירט אונטער הויכע טעמפעראטור, דערנאך מיט פּרעציזיע מאַשינירט און פּאָלירט, קענען די קעראַמישע רעזערוו טיילן טרעפן יעדע שטרענגע רעקווייערמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט מיט זייַנע פֿעיִקייטן פון טראָגן קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און ינסאַליישאַן. קעראַמיקס קענען אַרבעטן אין פילע מינים פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט באדינגונגען פון הויך טעמפּעראַטור, וואַקוום אָדער קעראָוסיוו גאַז פֿאַר אַ לאַנג צייט.
געמאכט פון הויך-ריינקייט אַלומינאַ פּודער, פּראַסעסט דורך קאַלט יסאָסטאַטיק פּרעסינג, הויך טעמפּעראַטור סינטערינג און פּינקטלעך פינישינג, עס קען דערגרייכן די דימענשאַן טאָלעראַנץ צו ±0.001 מם, ייבערפלאַך פיניש ראַ 0.1, טעמפּעראַטור קעגנשטעל 1600 ℃.
-
הויך-ריינקייט אַלומינאַ קעראַמיש סילינג רינג פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור קאַמער סילינג
סט. סעראַ'ס קעראַמישער פאַרזיגלונג רינג איז דיזיינד ווי אַן אָלטערנאַטיוו צו פּאָלימער אָ-רינגס אין עקסטרעמע סביבות וואו עלאַסטאָמערס צעברעכן. פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃), דעם שטרענגן פאַרזיגלונג רינג ווערט גענוצט אין סטאַטישע פאַרזיגלונג אַפּלאַקיישאַנז - טיפּיש געפּאָרט מיט אַ ווייך מעטאַל אָדער גראַפיט גאַסקעט - צו צושטעלן פאַרלאָזלעך וואַקוום אָדער גאַז קאַנטיינמאַנט ביי טעמפּעראַטורן ביז 800°C און אין אַגרעסיוו פּלאַזמע אָדער כעמישע סביבות. דער מאַטעריאַל אָפפערס נול אַוטגאַסינג, הויך קאַמפּרעסיוו שטאַרקייט (אונטערלייגנדיק בייגן שטאַרקייט 361 MPa), און כעמישע ינערטנאַס (קעגנשטעליק צו האַלאָגענס, זויערן און אַלקאַליס אַחוץ HF). פּרעציזיע-געלאַפּט פאַרזיגלונג סערפאַסיז (פלאַטנאַס ≤5 μm, ייבערפלאַך ראַפנאַס Ra ≤0.2 μm) ענשור ליק-טייט קאָנטאַקט מיט פּאַסיק מעטאַל אָדער קעראַמיש קאַמפּאָונאַנץ.
-
הויך-ריינקייט אַלומינאַ קאַמער פאָקוס רינג פֿאַר פּלאַזמע עטש און CVD סיסטעמען
סט. סעראַ'ס קאַמער פאָקוס רינג איז אַ קריטישער פּראָצעס קיט קאָמפּאָנענט געניצט אין פּלאַזמע עטש, CVD, און PVD האַלב-קאָנדוקטאָר ויסריכט. פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃), דער רינג אַרומרינגלט די וועיפער ברעג צו באַגרענעצן פּלאַזמע און אָפּטימיזירן יאָן ווינקל פאַרשפּרייטונג, דערמיט פֿאַרבעסערן עטש יוניפאָרמאַטי אַריבער די וועיפער ייבערפלאַך. דער מאַטעריאַל אָפפערס אויסערגעוויינלעך פּלאַזמע קעגנשטעל, הויך דיעלעקטריק שטאַרקייט (15×10⁶ V/m), און טערמישע פעסטקייט ביז 1600°C, וואָס ענשורז לאַנג-טערמין רילייאַבילאַטי אין אַגרעסיוו פלאָרין- אָדער קלאָרין-באַזירט פּלאַזמע ינווייראַנמאַנץ. פּרעציזשאַן-גראַונד ID/OD און פלאַךקייט (≤10 μm) געבן פּינטלעך וועיפער ברעג פּאַזישאַנינג, רעדוצירן ברעג חסרונות און פּאַרטיקל דזשענעריישאַן.
-
הויך-ריינקייט אַלומינאַ קעראַמיש רינג פֿאַר CVD / PVD פּראָצעס קאַמערן
סט. סעראַ'ס קעראַמישער רינג איז ספּעציעל דיזיינד פֿאַר נוצן אין CVD (כעמישע דאַמפער דעפּאַזישאַן) און PVD (פיזישע דאַמפער דעפּאַזישאַן) פּראָצעס קאַמערן. פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃), דינט דער רינג ווי אַ קאַמער ליינער, פאָקוס רינג, אָדער פּראָצעס קיט קאָמפּאָנענט צו באַגרענעצן פּלאַזמע און באַשיצן קאַמער ווענט פון עראָוזיע. דער מאַטעריאַל אָפפערס ויסגעצייכנט פּלאַזמע קעגנשטעל, הויך דיעלעקטריק שטאַרקייט (15×10⁶ V/m), און טערמישע פעסטקייט ביז 1600°C, וואָס ענשורז אַ לאַנג דינסט לעבן אין אַגרעסיוו פלאָרין-באַזירט פּלאַזמע ינווייראַנמאַנץ. פּינטלעכע דימענשאַנאַל טאָלעראַנסעס (±0.05 מם אויף ID/OD) און פלאַךקייט (≤10 μm) געבן קאָנסיסטענט וועיפער ברעג פּאַזישאַנינג, פֿאַרבעסערן דעפּאַזישאַן יונאַפאָרמאַטי און רעדוצירן פּאַרטיקל דזשענעריישאַן.
-
פּאָרעז קעראַמיש וואַקוום טשאַק פֿאַר וואָרפּט וואַפער האַנדלינג
סט. סעראַ'ס פּאָרעז קעראַמיש טשאַק איז אינזשענירט פֿון הויך-ריינקייט אַלומינאַ מיט אַ מונדיר אָפֿענער פּאָראָזיטעט פֿון 30-45% און פּאָרע גרייסן פֿון 10 ביז 100 מיקראָמעטער. ניט ווי קאַנווענשאַנעלע גרוווד טשאַקס, די פּאָרעז ייבערפלאַך גיט פֿאַרשפּרייט וואַקוום איבער די גאַנצע וועיפֿער הינטערשטע זײַט, עפֿעקטיוו האַלטנדיק פֿאַרדרייטע, דין אָדער איינציקאַרטיקע וועיפֿערס אָן ברעג ליפט-אָף אָדער ברייקידזש. דער מילדער וואַקוום (אַדזשאַסטאַבאַל דורך ריסטריקטאָר) פֿאַרהיט אויך הינטערשטע זײַט מאַרקינג.
-
אַלומינאַ-באַזירט פּאָרעז קעראַמיש וואַקוום טשאַק פֿאַר דין וועיפער האַנדלינג
סט. סעראַ'ס אַלומינאַ-באַזירט פּאָרעז טשאַק איז פאַבריצירט פון 99.6% הויך-ריינקייט Al₂O₃ מיט קאָנטראָלירט אָפן פּאָראָסיטי פון 30-45% און מונדיר פּאָרע גרייס ריינדזשינג פון 10 צו 50 μm. ניט ווי גרובעד טשאַקס, די פּאָרעז ייבערפלאַך גיט פאַרשפּרייט וואַקוום איבער די גאנצע וועיפער צוריקזייַט, ילימאַנייטינג קאַנט מאַרקינג און ינייבלינג מילד האַלטן פון גאָר-דין (≤100 μm) אָדער וואָרפּט וועיפערז. די מאַטעריאַל אָפפערס בייגן שטאַרקייַט ≥250 MPa און טערמישע פעסטקייַט אַרויף צו 400°C אין לופט.
-
אַלומינאַ גאַז פאַרשפּרייטונג פּלאַטע פֿאַר CVD/PVD שפּריץ קאָפּ
סט. סעראַ'ס גאַז פאַרשפּרייטונג פּלאַטע (שפּריץ קאָפּ) איז פּרעציזיע-מאַשינד פֿון הויך-ריינקייט 99.8% אַלומינאַ קעראַמיק. עס פֿעיִטשערט אַן אַרעי פֿון מיקראָ-לעכער (דיאַמעטערס 0.3-1.5 מם) וואָס ענשור אַ גלייכמעסיקן גאַז פֿלוס איבער די וועיפֿער ייבערפלאַך בעת CVD, PVD, אָדער ALD פּראָצעסן. די פּלאַטע'ס הויך דיעלעקטרישע שטאַרקייט (>15×10⁶ V/m) און פּלאַזמע קעגנשטעל מאַכן עס וויכטיק פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר דין-פֿילם דעפּאָזיציע.
