-
הויך-ריינקייט אַלומינאַ קעראַמיש ראָבאָט אָרעם פֿאַר וואַפער האַנדלינג
סט. סעראַ'ס אַלומינאַ קעראַמיש ראָבאָט אָרעם איז פּרעציזיע-אינזשענירט פון 99.8% הויך-ריינקייט Al₂O₃ (אַלומינאַ). עס קאַמביינירט אויסערגעוויינלעכע בייג שטאַרקייט (361 MPa), הויך כאַרדנאַס (16 GPa), און נידעריק געדיכטקייט (3.93 ג/קמ³), ריזאַלטינג אין אַ לייכט אָבער שטרענג אָרעם פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר וועיפער אַריבערפירן. די מאַטעריאַל ס טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט (7.2×10⁻⁶/°C) פּאַסט ענג צו סיליקאָן, מינאַמייזינג טערמאַל מיסמאַטש בעשאַס פּראַסעסינג.
-
בערנולי קעראַמיש ענד עפֿעקטאָר — ניט-קאָנטאַקט וועיפֿער האַנדלינג פֿאַר דין און שוואַך וועיפֿערס
סט. סעראַ'ס בערנולי קעראַמישער ענד עפעקטאָר ניצט אַעראָדינאַמישן ליפט צו שעפּן וועיפערס אָן גשמיותן קאָנטאַקט. פאַבריצירט פון הויך-ריינקייט 99.8% אַלומינאַ (Al₂O₃) אָדער סיליקאָן קאַרבייד (SiC), עס פֿעיִקייטן פּרעציזיע-מאַשינד נאַזאַלז וואָס אַרויסוואַרפן דרוק גאַז צו שאַפֿן אַ דין לופט פילם צווישן דעם ענד עפעקטאָר און די וועיפער. דעם ניט-קאָנטאַקט פּרינציפּ עלימינירט הינטערשטן קאַנטאַמאַניישאַן, קאַנט טשיפּינג, און ייבערפלאַך שעדיקן, מאכן עס ידעאַל פֿאַר דין (≤100 μm), שוואַך, אָדער וואָרפּט וועיפערס. די קעראַמישע סאַבסטראַט גיט הויך בייגן שטאַרקייַט (361 MPa פֿאַר Al₂O₃; אַרויף צו 550–600 MPa פֿאַר SiC), נידעריק מאַסע, און ויסגעצייכנט דימענשאַנאַל פעסטקייַט, ינשורינג ריפּיטאַבאַל פּאַזישאַנינג אין הויך-גיכקייַט וועיפער אַריבערפירן ראָבאָץ.
-
טעפלאָן באדעקטע קעראַמישע ענד עפעקטאָר – ניט-שטעקנדיקע ייבערפלאַך פֿאַר סענסיטיווע וועיפער האַנדלינג
סט. סעראַ'ס טעפלאָן (PTFE) באדעקטע קעראַמישע ענד עפעקטאָר קאָמבינירט אַ הויך-שטאַרקייט אַלומינאַ סאַבסטראַט מיט אַ מונדיר, נידעריק-רייַבונג PTFE קאָוטינג (גרעב 15-30 מיקראָמעטער). די קאָוטינג גיט אַן עקסטרעם נידעריק קאָעפיציענט פון רייַבונג (≤0.1), ויסגעצייכנט כעמיש קעגנשטעל, און ניט-קלעפּיק פּראָפּערטיעס, פאַרהיטנדיק וועיפער אַדכיזשאַן און עלימינייטינג באַקסייד קאַנטאַמאַניישאַן. די אַנדערלייינג קעראַמישע סאַבסטראַט (99.8% Al₂O₃) אָפפערס הויך בייגן שטאַרקייט (361-1000 MPa), טראָגן קעגנשטעל, און טערמישע פעסטקייט ביז 260°C (קאָוטינג לימיט). דעם ענד עפעקטאָר איז ידעאַל פֿאַר האַנדלינג מיט דעליקאַטע, דין, אָדער קלעפּיק וועיפערס (למשל, נאָך פאָטאָרעזיסט קאָוטינג אָדער כעמישע פּראַסעסאַז).
