מעטאַל-געשטיצטע פּאָרעזע SiC וואַקוום טשאַק פֿאַר וואָרפּט און דין וועיפער האַנדלינג

סט. סעראַ'ס מעטאַל-באַזירטער קעראַמישער וואַקוום טשאַק קאָמבינירט אַ פּאָרעזער סיליקאָן קאַרבייד (SiC) קעראַמישער שיכט מיט אַ פּרעציזיע-באַאַרבעטער מעטאַל באַזע (אַלומינום אָדער ומבאַפלעקט שטאָל). דער פּאָרעזער SiC מאַטעריאַל (בלוי-שוואַרץ, פּאָראָסיטי 35-40%, פּאָרע גרייס 20-30 מיקראָמעטער, פּערמעאַביליטי 60 מל/קמ²·מין) גיט מונדיר, מילדער וואַקוום פאַרשפּרייטונג איבער דער גאַנצער וועיפער ייבערפלאַך, עלימינירנדיק ברעג מאַרקינג און ערמעגלעכנדיק ניט-קאָנטאַקט שטיצע פֿאַר דין (≤100 מיקראָמעטער) אָדער וואָרפּט וועיפערס. די SiC שיכט אָפפערס נידעריק טערמיש יקספּאַנשאַן (3.5×10⁻⁶/℃), טערמישע פעסטקייט ביז 1000°C, און מעסיק בייגן שטאַרקייט (32-35 MPa). די מעטאַל באַזע לייגט צו סטרוקטורעלע רידזשידאַטי, גרינג מאַונטינג דורך געווינדעט לעכער, און שוץ קעגן שוואַכע בראָך. דער טשאַק איז ידעאַל פֿאַר באַקסייד גרינדינג, דייסינג, און הויך-טעמפּעראַטור וועיפער פּראַסעסינג וווּ מונדיר וואַקוום און טערמישע קאַמפּאַטאַבילאַטי זענען קריטיש.

ספּעציפֿיקאַציעס (באַזירט אויף צוגעשטעלטע פּאָרעזע SiC דאַטן):

באַמערקונג: בייג שטאַרקייט איז נידעריקער ווי געדיכט SiC צוליב פּאָראָזיטעט. מעטאַל באַזע אייגנשאַפטן זענען נישט פון קעראַמישע טישן.

אַפּליקאַציעס:

• · הינטערשטע מאָלן פון דין וועיפערס (≤100 μm)
• · פארקרימטע וועיפער מאַונטינג פֿאַר דייסינג
• הויך-טעמפּעראַטור וועיפער טשאַקינג (ביז 1000°C)
• · וואַקוום פיקסטשערינג פֿאַר פּאָרעז אָדער שוואַך סאַבסטראַטן

פאַבריקאַציע:

פּאָרעזער SiC פּלאַטע (געפאָרעמט מיט פּאָרע-פאָרמערס, סינטערד) → איבערגעלאַפּט צו פלאַכקייט ≤10 מיקראָמעטער → מעטאַל באַזע מאַשינד מיט וואַקוום פּאָרץ און מאַונטינג פֿעיִקייטן → עפּאָקסי באַנדינג אָדער מעכאַנישע קלאַמערן → העליום ליק טעסט.

קוואַליטעט קאָנטראָל:

• · פּאָראָסיטי און פּאָרע גרייס וועריפיצירט דורך SEM
• · דורכדרינגלעכקייט טעסט (לופט שטראָם)
• · פלאַכקייט געמאָסטן מיט לאַזער ינטערפעראָמעטער
• העליום ליק ראטע <1×10⁻⁹ פּאַ·מ³/ס

מעלות איבער גראָוועד אָדער דענסע קעראַמיק טשאַקס:

• · קיין וועיפער מאַרקינג - איינהייטלעך וואַקוום אָן דיסקרעטע לעכער
• · זעלבסט-רייניקונג פּאָרן – פאַרקלענערט פארשטאפונג
• · האַנדלט מיט קרומע וועיפערס (ביז 500 מיקראָמעטער בויגן)
• · מעטאַל באַזע פאַרהיט שוואַכע בראָך און סימפּליפייזיז די אינטעגראַציע

לימיטאַציעס:

• · נידעריקער בייג שטאַרקייט (32–35 MPa) – פאַרמייַדן אימפּאַקט לאָודינג
• · אפעראציע טעמפעראטור באגרענעצט צו 1000°C (פּאָרעז SiC), אבער מעטאל-באזירט עפאקסי בונד באגרענעצט צו ≤200°C סיידן מעכאניש צוגעקלעמט
• נישט פֿאַר הויך-דרוק וואַקוום (פּאָרעז סטרוקטור באַגרענעצט מאַקסימום וואַקוום דיפערענץ)

קאַסטאַמייזיישאַן:

• · מעטאַל באַזע: אַלומינום (ליכט), ומבאַפלעקט שטאָל (קעראָוזשאַן קעגנשטעליק), Invar (נידעריק יקספּאַנשאַן)
• · פֿאַרבינדונג: עפּאָקסי (≤200°C) אָדער מעכאַנישע קלאַמער (ביז 500°C)
• · ברעג פארזיגלונג רינג פאר זאָנע וואַקוום קאָנטראָל

ביטע באַמערקן: די צוגעשטעלטע בייג שטאַרקייט (32–35 MPa) איז באַדייטנד נידעריקער ווי געדיכטע קעראַמיק צוליב פּאָראָזיטעט. באַהאַנדלען מיט וואָרענונג צו ויסמיידן ברעג-שפּאַלטן.