אַלומינאַ פּווד ינסאַליישאַן רינג פֿאַר גשמיות פארע דעפּאַזישאַן סיסטעמען
סט. סעראַ'ס PVD איזאָלאַציע רינג איז פאַבריצירט פון 99.8% הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃) פֿאַר נוצן אין גשמיות דאַמף דעפּאַזישאַן (PVD) סיסטעמען. דער רינג גיט עלעקטרישע איזאָלאַציע צווישן קאַמער קאַמפּאָונאַנץ, פּרעווענטינג אַרסינג און ענשורינג סטאַביל פּלאַזמע אָפּעראַציע. שליסל פּראָפּערטיעס אַרייַננעמען הויך דיעלעקטריק שטאַרקייַט (15×10⁶ V/m), ספּעציפיש קעגנשטעל >10¹⁴ Ω·mm²/m, און טערמאַל פעסטקייַט אַרויף צו 1600°C. אונדזער פּרעציזשאַן מאַשינינג קייפּאַבילאַטיז דערגרייכן ויסווייניקסט דיאַמעטערס אַרויף צו 600 מם, ינער דיאַמעטערס אַראָפּ צו 0.2 מם, פלאַךנאַס פון 0.003 מם, און ייבערפלאַך ענדיקן Ra0.1. די רינג ס נול פּאָראָסיטי און כעמישער ינערטנאַס ענשור לאַנג-טערמין רילייאַבילאַטי אין אַגרעסיוו ספּאַטערינג ינווייראַנמאַנץ.
ספּעציפֿיקאַציעס (באַזירט אויף 99.8% אַל₂O₃און סט. סעראַ פאַבריקאַציע קייפּאַבילאַטיז):
| פאַרמאָג | ווערט |
| מאַטעריאַל | 99.8% אַלומינאַ (עלפֿענביין) |
| געדיכטקייט | 3.93 ג/קמ³ |
| בייגונג שטאַרקייט | 361 MPa |
| וויקערס כאַרדנאַס | 16 GPa |
| דיעלעקטרישע שטאַרקייט | 15×10⁶ V/m |
| ספּעציפֿישער קעגנשטעל | >10¹⁴ Ω·ממ²/מ |
| מאַקס. אויסערלעכער דיאַמעטער | 600 מ״מ |
| מינימום אינערלעכער דיאַמעטער | 0.2 מ״מ |
| מאַקסימום גרעב | 100 מ״מ |
| פלאַכקייט | 0.003 מ״מ |
| פּאַראַלעליזם | 0.002 מ״מ |
| ייבערפלאַך ענדיקן | ראַ0.1 |
| מאַקסימום אַפּערייטינג טעמפּעראַטור | 1600°C |
אַפּליקאַציעס:
- · ציל באַקינג פּלאַטע ינסאַלייטערז אין PVD סיסטעמען
- · קאַמער דורכפֿיר אינסולאַטאָרן
- · שילד רינג איזאָלאַטאָרן אין ספּאַטערינג סיסטעמען
- הויך-וואָולטידזש אפגעזונדערטקייט אין פּלאַזמע קאַמערן
מאַנופאַקטורינג פּרעציזיע:
קאנצענטריציטעט: 0.01 מ"מ, קייַלעכקייט: 0.002 מ"מ, גלייכקייט: 0.005 מ"מ, פּערפּענדיקולאַריטעט: 0.005 מ"מ, וועריפיצירט דורך CMM.
Aמעלות איבער פּאָלימער ינסולאַטאָרן:
- · קען אויסהאלטן 1600°C קעגן פּאָלימער'ס <300°C לימיט
- · קיין אויסגאזונג – האַלט וואַקוום אָרנטלעכקייט
- · קעגנשטעלט זיך קעגן פּלאַזמע עראָזיע און כעמישע אַטאַקעס
קאַסטאַמייזיישאַן:
מנהג-געמאַכטע קראָס-סעקשאַנז, מאַונטינג פֿעיִקייטן, שריט פּראָופיילן, און קייפל קאָנצענטרישע רינג דיזיינז זענען בנימצא.
